【產(chǎn)品概述】：
干式真空泵維修是具有耐腐蝕性能的泵，是專為輸送含有細(xì)顆粒的腐蝕性介質(zhì)而設(shè)計開發(fā)的，因為其獨特的生產(chǎn)設(shè)計，使其具有耐磨性、耐沖擊性、 抗蠕變性和極好的耐腐蝕性，干式真空泵在使用一段后都是需要進(jìn)行內(nèi)部清理，這也是為了延長它的使用時間，保證使用效果，進(jìn)行內(nèi)部清理的時候需要做的工作有以下幾點。
1、刮去葉輪內(nèi)外表面及密封環(huán)和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物，再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。
2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。
3、檢查管內(nèi)是否暢通并清理水封管。
4、清理軸瓦及軸承，除去油垢，再清洗油圈及油面計等，滾珠軸承要用汽油清洗。
5、暫時不進(jìn)行裝配的零、部件，在清洗后都要及時的涂油保護(hù)。
干式真空泵維修的內(nèi)部清洗不僅是可以延長泵的使用壽命更重要的是可以減少企業(yè)損失，保證生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

【產(chǎn)品應(yīng)用】：
干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭校Ｍ⒘Ｅ懦霰猛?，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；
4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。